什么是晶格匹配
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/02 08:48:21
什么是晶格匹配
什么是晶格匹配
什么是晶格匹配
它是采用二氧化硅层选择性将二极管及电晶体设置于基底上;在硅基底上形成二氧化硅层,选择性蚀刻二氧化硅层,以定义出二极管预定区及场效电晶体预定区;接续在预定区依序成长二极管、保护层及电晶体,保护层用于将二极管及电晶体作一绝缘隔离.具有提供具有完美结晶度的光电集成电路元件、避免砷化镓基板所产生的晶格缺陷、大幅降低成本及防止其连接导线误触的功效.
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它是采用二氧化硅层选择性将二极管及电晶体设置于基底上;在硅基底上形成二氧化硅层,选择性蚀刻二氧化硅层,以定义出二极管预定区及场效电晶体预定区;接续在预定区依序成长二极管、保护层及电晶体,保护层用于将二极管及电晶体作一绝缘隔离.具有提供具有完美结晶度的光电集成电路元件、避免砷化镓基板所产生的晶格缺陷、大幅降低成本及防止其连接导线误触的功效.